退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
徐向东; 刘颖; 邱克强; 刘正坤; 洪义麟; 付绍军;
中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
合肥230029;
光栅; 多层介质膜; 离子束刻蚀;
机译:极紫外波长区域的高效多层涂层离子束刻蚀火焰光栅
机译:多层介质光栅离子束刻蚀过程中的原位终点检测
机译:未来金属-绝缘体-金属电容器用多层介电薄膜的比较:Al_2O_3 / HfO_2 / Al_2O_3与SiO_2 / HfO_2 / SiO_2
机译:以SiO_2为顶层的多层衍射光栅的反应离子束刻蚀
机译:反应离子束刻蚀制备衍射光栅的研究
机译:控制多层介电光栅中朝向光学双稳态器件的Fano共振
机译:聚四氟乙烯的热辅助离子束刻蚀是MEMS高深宽比刻蚀的新技术
机译:离子束刻蚀制备高效大孔径透射衍射光栅
机译:光栅和交叉光栅结构的反应离子束刻蚀
机译:利用具有极好的刻蚀选择性的硬质膜形成半导体器件互连层的方法,以消除通过接触形成过程中层间介电层的损耗
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。