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弹道电子发射显微镜对Au/n-Si(100)界面势垒的探测

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用弹道电子发射显微镜对Au/n-Si(100)界面势垒测试,直接得出定点的势垒特性和纳米尺度的界面图象.通过所测的I_(c)-V曲线,可得所测点的肖特基势垒高度及电荷传输特性.界面图象可以显示界面极小范围内势垒的特性.

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来源
《物理学报》 |1995年第1期|133-136|共4页
作者
白春礼; 郭仪;
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作者单位

中国科学院化学研究所;

北京100080;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子光学仪器;
关键词
BEEM; 金属/半导体; 界面; 势垒; 探测; 金; 硅;

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