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张锡健; 马洪磊; 王卿璞; 马瑾; 宗福建; 肖洪地; 计峰;
山东大学物理与微电子学院;
济南250100;
MgxZn1-xO薄膜; 射频磁控溅射; Mg含量; 纤锌矿结构; 薄膜; 光学特性; 生长; 衬底温度; 光透射谱; x射线衍射; 择优取向;
机译:射频磁控溅射沉积在硅和蓝宝石衬底上的Mg_xZn_(1-x)O薄膜的光学特性
机译:射频磁控溅射后退火温度对Mg_xZn_(1-x)O薄膜结构,光学和电学性质的影响
机译:在不同温度下在a-Al_2O_3衬底上生长的射频磁控溅射a-(Cr_(1-x)Al_x)_2O_3薄膜的光学特性
机译:通过溶胶 - 凝胶法形成的Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性质
机译:射频磁控溅射生长的GaN薄膜的特性用于制造AlGaN / GaN HEMT生物传感器
机译:不同生长角度的射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学性质
机译:射频双磁控溅射产生的非晶(SiC)1-x(AIN)x薄膜的光学带隙的确定
机译:射频磁控溅射和离子辅助分子束外延生长alN薄膜的比较
机译:用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
机译:四级氧化锌薄膜,使用射频磁控溅射制造同一薄膜的方法以及包括该薄膜的电子设备
机译:直径0≤x≤1到150 mm的AHF(轴向热前缘)法生长Cd 1-X Sub> Zn X Sub> Te的步骤
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