电化学加工微电极的工艺研究

摘要

应用电化学加工和金属的弹塑性变形理论,通过对铜电极的加工工艺研究,提出了一种新的微电极加工方法,其设计思路是,利用电化学加工的基本理论对微电极工件进行初步加工,当直径达到一定尺寸后,改变电化学加工的电规则,同时对工件施加载荷,此时在其加工截面产生明显的弹性和塑性变形,最终达到微电极要求的尺寸,并经过实验确定了该方法的可行性及其工艺参数.