非球面离子束修形技术研究

目录

摘要

1．1课题背景

1．2非球面加工技术简介

1．2．1气囊抛光技术

1．2．2磁流变抛光技术

1．2．3离子束抛光技术

1．3国内外研究现状

1．4论文的主要研究内容及章节安排

2非球面离子束修形技术原理

2．1非球面离子束修形技术原理及整体研究方案

2．1．1非球面离子柬修形技术原理

2．1．2研究方案

2．2非球面离子束材料去除机理及影响因素研究

2．2．1离子溅射效应理论模型

2．2．2非球面离子束溅射影响因素分析

2．3本章小结

3非球面离子束修形算法研究

3．1修形系统的分类

3．2去除函数研究

3．2．1去除函数的模型与获取方法

3．2．2去除函数与入射角度关系研究

3．2．3动态去除函数模型建立

3．3面形偏差计算

3．4驻留时间的求解

3．4．1驻留点规划方法

3．4．2驻留时间求解方法

3．5角度矩阵与方位矩阵求解

3．6本章小节

4离子束修形仿真软件设计

4．1软件需求分析与数据交互设计

4．2部分算法实现

4．3软件界面设计

4．4数控文件生成

4．5仿真参数选择研究

4．6不同补偿方案仿真研究

4．7本章小结

5误差仿真研究与修形验证实验

5．1离子源定位误差研究

5．2修形算法验证实验

5．3本章小结

6结论与展望

6．1总结

6．2工作展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

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