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第1章绪论
1.1课题背景
1.2自适应变形镜研究现状
1.2.1传统自适应光学系统
1.2.2微光学自适应系统
1.2.3变形镜
1.2.4驱动器
1.3本课题研究内容
1.4课题创新点
第2章微光学自适应微镜的设计
2.1工作原理
2.2理论依据
2.3设计方案
2.4有限元分析
第3章半导体微加工技术
3.1图形技术
3.2薄膜技术
3.2.1氧化
3.2.2真空蒸发
3.2.3溅射
3.2.4化学气相沉积
3.2.5扩散与离子注入
3.3刻蚀技术
3.3.1湿法刻蚀
3.3.2干法刻蚀
第4章微光学自适应微镜的制作工艺
4.1工艺设计
4.2工艺实现
4.2.1硅片尺寸测量
4.2.2热氧化
4.2.3掩模版
4.2.4光刻
4.2.5 HF酸刻蚀
4.2.6 KOH刻蚀
4.2.7蒸镀铝膜
4.3实验技术条件
第5章微镜性能测试与分析
5.1变形反射镜的主要性能
5.1.1校正单元数
5.1.2最大变形量、灵敏度和滞后
5.1.3表面面形精度及其稳定性
5.1.4面形响应函数和交连值
5.1.5频率响应特性
5.2静态性能
5.3动态性能测试
5.3.1测试原理
5.3.2实验数据及分析
5.4优缺点分析
第6章总结与展望
6.1总结
6.2应用前景展望
参考文献
攻读硕士学位期间主要的研究成果
致谢