声明
致谢
摘要
第1章 绪论
1.1 课题研究背景及意义
1.2 MEMS技术及其应用
1.3 国内外无线能量传输研究现状
1.4 无线能量传输转换方式
1.4.1 电磁式无线能量转换
1.4.2 静电式无线能量转换
1.4.3 压电式无线能量转换
1.5 超声波技术的发展及应用
1.6 本论文研究意义及主要内容
第2章 压电超声波能量采集器的理论与设计
2.1 压电超声波能量采集器的理论基础
2.1.1 压电效应基本理论
2.1.2 压电方程
2.2 压电材料
2.2.1 压电材料参数
2.2.2 常见压电薄膜
2.3 压电式无限能量传输等效力学模型
2.4 压电式能量采集器的电学模型
2.5 超声波发射器向空间辐射声波过程仿真分析
2.6 单个器件的设计与仿真
2.6.1 单个方形器件的仿真
2.6.2 单个圆形器件的仿真
2.7 本章小结
第3章 器件加工工艺介绍
3.1 单个MEMS器件的加工
3.2 具体实物器件及具体参数对比
3.3 阵列型器件的加工
3.4 阵列型器件实物图
3.5 本章小结
第4章 单个pMUT器件的测试与比较
4.1 基本测试原理
4.2 测试平台搭建
4.3 空气中实验测试
4.4 去离子水中的测试
4.5 猪肉组织中的测试
4.6 本章小结
第5章 阵列型pMUTs器件的测试
5.1 阵列型器件的结构
5.2 阵列型器件的等效电路
5.3 阵列型器件的性能测试
5.4 单个器件与阵列型在空气和去离子水中的测试
5.5 阵列型器件在组织中的测试
5.6 本章小结
第6章 总结与展望
6.1 工作总结
6.2 工作展望
参考文献
攻读硕士学位期间主要的研究成果