声明
第一章 绪论
1.1 研究工作的背景与意义
1.2国内外研究历史与现状
1.3 本文的主要内容
第二章 理论分析基础
2.1 数值分析方法
2.1.1 严格耦合波分析法
2.1.2 任意面型的计算方法
2.2 本章小结
第三章 周期性正圆顶结构的设计
3.1 周期性正圆顶结构的构建
3.2陷光结构光学建模
3.3 结果优化与分析
3.3.1 参数设定与优化
3.3.2 三种结构对比分析
3.4 本章小结
第四章 激光干涉光刻制备陷光结构
4.1 激光干涉光刻原理
4.2 激光干涉光刻平台介绍与光刻工艺
4.2.1 马赫-曾德激光干涉仪
4.2.2 马赫-曾德干涉平台的建立
4.2.4 激光干涉光刻工艺流程
4.3 周期性陷光结构制备
4.2.1 结构的制备工艺
4.2.2 硅片的减薄
4.4 实验结果与分析
4.5 本章小结
第五章 基于微结构的Si/PEDOT:PSS杂化的异质结太阳能电池的研究
5.1 引言
5.1.1 硅/PEDOT:PSS杂化太阳能电池的工作原理
5.1.2 PEDOT: PSS薄膜的改性
5.2 实验部分
5.2.1 实验原料
5.2.2 实验仪器
5.2.3 硅周期微结构/PEDOT:PSS杂化太阳能电池制备
5.3 实验结果与讨论
5.4 本章小结
第六章 全文总结与展望
6.1 全文总结
6.2 后续工作展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的成果