声明
摘要
引言
1 绪论
1.1 太阳能电池简介
1.1.1 太阳能电池的发展历程
1.1.2 太阳能电池的理论依据
1.2 太阳能电池的分类
1.2.1 按电池衬底材料分类
1.2.2 按电池结构分类
1.3 硅电池简介
1.4 本论文的内容和意义
1.4.1 本论文的内容
1.4.2 本论文的意义
本章小结
2 单晶硅电池制造工艺
2.1 太阳能级硅材料的制备
2.1.1 太阳能级硅材料的提纯工艺
2.1.2 单晶硅锭的制备
2.1.3 单晶硅棒切片工艺
2.2 制备单晶硅太阳能电池的工艺过程
本章总结
3 减反射层在单晶硅太阳能电池中的应用
3.1 绒面制备
3.1.1 制绒原理
3.1.2 工艺参数对绒面制备的影响
3.2 多孔硅结构制备
3.2.1 多孔硅的制备原理
3.2.2 影响多孔硅结构制备的因素
3.3 纳米线结构制备
3.3.1 化学湿法刻蚀硅纳米线的制备原理
3.3.2 制备硅纳米线的影响因素
3.4 薄膜减反射层制备
3.4.1 薄膜减反射层制备原理
3.4.2 工艺参数对薄膜减反射层的影响
本章小结
4 样品制备与表征设备
4.1 样品制备设备
4.1.1 PECVD沉积系统
4.1.2 扩散炉系统
4.1.3 等离子去边设备
4.2 表征设备
4.2.1 扫描电子显微镜
4.2.2 反射率测量系统
4.2.3 量子效率测量系统
本章小结
5 探究不同减反射层对单晶硅电池效率的影响
5.1 湿法化学刻蚀制备金字塔/纳米线双重结构减反射层
5.1.1 样品制备
5.1.2 样品表征
5.1.3 对比样品的制备
5.1.4 对比样品的表征
5.2 基于金字塔/硅纳米线结构减反射层制备电池
5.2.1 太阳能电池的制备与参数测量
5.2.2 结果分析与讨论
本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢