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目录
第1章 绪论
1.1 课题研究的背景和意义
1.2 国内外研究现状及分析
1.3 本课题主要任务及工作内容
第2章 薄膜杂质的检测与识别方案设计与算法分析
2.1 系统设计要求
2.2 系统总体设计方案
2.3 图像的预处理过程
2.4 薄膜杂质图像预处理与特征提取
2.5 LVQ神经网络结构的设计
2.6 薄膜杂质识别模型的构建和测试
2.7 本章小结
第3章 系统的硬件设计
3.1 系统总体硬件设计
3.2 微处理器模块电路设计
3.3 图像采集模块电路设计
3.4 相机控制信号转换电路
3.5 实时数据缓存模块设计
3.6 外扩存储模块电路设计
3.7 通信模块电路设计
3.8 杂质标记模块设计
3.9 电源模块电路设计
3.10 时钟模块电路设计
3.11 本章小结
第4章 系统的软件设计
4.1 ARM端软件开发与设计
4.2 DSP端软件开发与设计
4.3 实验结果
4.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的学术论文
致谢
哈尔滨理工大学;