声明
摘要
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 高频用软磁薄膜材料的研究现状
1.2.1 软磁单层膜
1.2.2 软磁多层膜
1.3 微电感的研究现状
1.3.1 二维栅型电感
1.3.2 二维螺旋电感
1.3.3 三维螺线管电感
1.4 本论文的研究目的、思路及主要内容
1.4.1 研究目的
1.4.2 研究思路
1.4.3 主要内容
参考文献
第二章 理论基础
2.1 磁学相关理论
2.1.1 静态磁学理论
2.1.2 动态磁学理论
2.2 电感相关理论
参考文献
第三章 Fe-Co基高频软磁薄膜的制备和性能研究
3.1 引言
3.2 实验方法
3.3 FeCo、FeCoSiN、[FeCoSiN/SiNx]n三种薄膜的性能研究
3.3.1 薄膜晶体结构的XRD表征
3.3.2 薄膜表面形貌的SEM表征
3.3.3 薄膜化学成分的XPS表征
3.3.4 薄膜磁学和电学性质
3.3.5 本节小结
3.4 SiNx绝缘层厚度对[FeCoSiN/SiNx]n多层膜结构和性能的影响
3.4.1 薄膜晶体结构的XRD表征
3.4.2 薄膜表面形貌的AFM表征
3.4.3 薄膜横截面形貌的TEM表征
3.4.4 薄膜化学成分的XPS表征
3.4.5 薄膜电学性质
3.4.6 薄膜静态磁学性质
3.4.7 薄膜动态磁学性质
3.4.8 本节小结
3.5 FeCoSiN磁性层厚度和倾斜角度对[FeCoSiN/Sinx]n多层膜结构和性能的影响
3.5.1 薄膜晶体结构的XRD表征
3.5.2 薄膜静态磁学性质和电学性质
3.5.3 薄膜动态磁学性质
3.5.4 本节小结
3.6 总厚度对[FeCoSiN/SiNx]n多层膜结构和性能的影响
3.6.1 薄膜晶体结构的XRD表征
3.6.2 薄膜电学性质
3.6.3 薄膜静态磁学性质
3.6.4 薄膜动态磁学性质
3.6.5 本节小结
3.7 本章小结
参考文献
第四章 集成[FeCoSiN/SiNx]n多层膜磁芯螺线管微电感性能的模拟与分析
4.1 HFSS有限元分析软件
4.2 多层膜磁芯螺线管微电感性能的模拟结果分析
4.2.1 螺线管微电感结构参数对电感性能的影响
4.2.2 磁芯材料对电感性能的影响
4.3 本章小结
参考文献
第五章 集成[FeCoSiN/SiNx]n多层膜磁芯螺线管微电感的制备与性能研究
5.1 螺线管微电感制备的工艺流程设计
5.2 螺线管微电感加工的工艺流程
5.3 螺线管微电感性能的测试与分析
5.3.1 螺线管微电感性能的测试原理
5.3.2 螺线管微电感性能的测试结果
5.4 本章小结
参考文献
第六章 总结与展望
6.1 本论文的主要结论
6.2 下一步工作的展望
附录
攻读博士期间研究成果
致谢
厦门大学;