KLA-Tencor Corporation, 4 Haticshoret St., Migdal Haemek 23100, Israel;
overlay; imaging; sub-resolution; contrast; information content;
机译:用于现代光刻工艺仿真的亚分辨率辅助特征建模
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机译:涉及多孔体的冲击的数值模拟。 I.在3D SPH液压代码中实现亚分辨率孔隙度