P-DC マグネトロンスパッタ法により成膜した CrNX 膜の機械的性質と微細構造

机译：P-DC磁控溅射法沉积CRNX薄膜的力学性能和微观结构

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CrN膜は機械部品の保護膜として幅広い分野で使用されてきた．多くの研究報告が見られるが，300°C以上の高い基板温度で作製した膜についての報告は少ない．他方で，CrNにAl，Si等を複合化させた3元系膜もすでに実用化されているが，これらは高温で成膜されることが多く，3元系と2元系をつなぐ系統的なデータが十分であるとは言えない．そこで本研究ではCrN膜の成膜時の基板温度を350°Cに固定し，その他の成膜条件がCrN膜の機械的性質と微細構造に及ぼす影響を調査した．

机译：CRN膜已被用于各种机器部件的保护膜。已经看到许多研究报告，但是很少有关于在高于300℃的高基板温度下产生的膜的报道。另一方面，尽管在其中的三元膜与Al，Si等结合Al，Si等已经进行了实际使用，但这些通常在高温下形成，因此无法说数据是充足的。因此，在本研究中，研究了CRN膜的薄膜形成时的衬底温度在350℃下固定，并研究了其他膜形成条件对机械性能和CRN膜的微观结构的影响。

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来源
《日本金属学会春期大会》|2015年||共1页
会议地点
作者
瀧瀬遼平; 松田健二; 野瀬正照;
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中图分类 TG3-532;
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