机译:双臂联动精密线性运动(DALL)支架,一种简化,坚固耐用的高性能线性运动平台,用于傅立叶变换光谱仪或其他需要精确线性运动的系统的移动镜
FTS; optical carriage; linear motion; flexures; monolithic; micro positioning; precision motion; spectroscopy;
机译:精密线性空气轴承台的多自由度误差运动的测量
机译:一种用3D正弦槽线性反射光栅和三角波的细分方法测量精密线性级的倾斜运动,直线度和位置的方法
机译:超精密线性位移台五自由度运动性能评估
机译:双臂连杆精密线性运动(DALL)托架,简化,坚固,高性能线性运动级,用于傅里叶变换光谱仪或其他系统需要精密线性运动
机译:加速度计在精密运动控制系统设计中的应用及其在线性电动机中的应用。
机译:基于3D正弦槽线性反射光栅和基于三角波的细分方法测量精密线性平台的倾斜运动直线度和位置的方法
机译:具有输入饱和的全局稳定高性能自适应鲁棒控制算法,用于直线电机驱动系统的精密运动控制