クリーンルーム滅菌用オゾンガスに対する建築·設備系材料の耐性評価 (その1) オゾンガス滅菌システム概要及び実験ブースの構築

摘要

ホルムアルデヒドガスによる滅菌の代替システムであるオゾンガス滅菌システムにおいて、オゾンガスに対する建築·設備系材料の耐性試験を実施する目的で実験ブースを構築した。