AFM; Amorphous silicon; RIfS; Silicon photonics; Surface roughness; TMAH; Wet-etching; Wire waveguide;
机译:使用各向同性湿法刻蚀和使用损耗材料的低损耗线波导制造来控制非晶硅的纳米级厚度
机译:垂直堆叠在绝缘体上硅衬底上的低损耗非晶硅多层波导
机译:使用稀KOH溶剂通过非晶硅键合制造低损耗空心光波导
机译:低损耗线波导湿法蚀刻的非晶硅精细控制
机译:具有低弯曲损耗的太赫兹两线制波导。
机译:基于多模干涉波导的低损耗移相器硅光调制器
机译:采用CmOs工艺制造的低损耗非晶硅光子线和环形谐振器