The capacitance application in MEMS

机译：电容在MEMS中的应用

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The capacitance sensor used in MEMS is very popular. In this paper, we discussed the capacitance principle, introduced the detected means and comb drive. The detected circuit and the calculating method are given in this paper.

机译：MEMS中使用的电容传感器非常受欢迎。在本文中，我们讨论了电容原理，介绍了检测方法和梳状驱动。给出了检测电路和计算方法。

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来源
《5th International Symposium on Test and Measurement (ISTM/2003) Vol.1 Jun 1-5, 2003 Shenzhen, China》|2003年|p.179-181|共3页
会议地点 Shenzhen(CN);Shenzhen(CN)
作者
Yunxia Shi;
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作者单位

Department of computer, Qingdao Institute of Architecture Engineering, Qingdao, hangdong China 266033;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类一般工业技术;
关键词
MEMS; come drive;

机译：MEMS;驱动器;

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