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Micro linear zig-zag delay mechanisms based on LIGA technique

机译:基于LIGA技术的微线性之字形延迟机制

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摘要

In this paper, the details of micro linear zig-zag delay mechanisms is given, including some correlative figures, and the technical process of machining this micro-mechanisms by LIGA technique is shown , moreover mathematics modeling for elasticity distortion of micro linear zig-zag delay mechanisms is established.
机译:本文给出了微线性之字形延迟机构的细节,包括一些相关的数字,并给出了用LIGA技术加工该微机构的技术过程,此外,还对微线性之字形的弹性变形进行了数学建模。建立延迟机制。

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