Electr. Comput. Eng., Northeastern Univ., Boston, MA, USA;
aluminum nitride resonators; phase change materials; piezoelectric resonators; reconfigurable resonators;
机译:用于可切换和可重构射频滤波器的轮廓模式氮化铝谐振器的MEMS切换
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:与RF MEMS开关单片集成的光束开关Reflectarray
机译:可切换的2端口氮化铝MEMS使用单片集成3.6 THz切断频率相变开关的谐振器
机译:相变材料和氮化铝轮廓模式记忆谐振器的单片集成,用于高度可重构的射频系统。
机译:集成的单片3D MEMS扫描仪可切换实时垂直/水平横截面成像
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动