质谱仪关键件精密电铸制造技术

摘要

主要研究质谱仪重要零部件采样锥的电铸制造方式及相关技术难题,通过研究电铸超厚纯镍镀层溶液配方、工艺参数、型膜材料及设计、研究电铸过程典型问题并提出解决方案.在综合试验后电铸镀层厚度可达10mm以上,镀层致密度良好,无气孔夹渣等缺陷,脱模后镀层内表面粗糙度达到Ra0.1μm,在机加及电火花加工后表明镀层机加性能良好,并最终满足产品设计要求.