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衬底温度对磁控溅射制备CdTe/ZnTe多层膜性能的影响

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利用射频磁控溅射技术,在不同的衬底温度下,在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积了CdTe/ZnTe 多层薄膜.利用X 射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构、形貌特性进行了表征.采用紫外-可见光分光光度计,研究了温度对薄膜光学性能的影响.在普通玻璃和石英玻璃衬底上沉积的CdTe/ZnTe 多层薄膜,均为六角、立方晶系的多晶结构；温度升高,可见光吸收边向长波移动；衬底沉积温度越高,其表面颗粒越均匀.

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来源
《第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会（CPVC12）》|2012年|1-5|共5页
会议地点北京
作者
肖心举; 黎兵; 胡鹏臣; 江海波; 杨慧敏; 冯良桓; 张静全; 武莉莉; 李卫;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中科院;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
磁控溅射; 衬底温度; 多层膜; 形貌特性; 光学性能;

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