石英振梁谐振器电学参数有限元分析及优化

摘要

利用ANSYS耦合场单元电压自由度模拟了石英振梁谐振器电极结构,通过静态分析、模态分析和热弹阻尼分析计算得到谐振器的等效电学参数和品质因数.通过分析电极参数与动态电阻的关系,对电极形式进行优化设计.在优化结果的基础上,利用谐响应分析得到振梁最大位移和等效阻抗的动态响应曲线,为振荡电路设计提供重要的参考依据.