计量型扫描电子显微镜成像方法研究

摘要

本文提出了一种新的基于位移台移动方式的扫描电子显微镜的成像方法。在完成了激光干涉测量技术与扫描成像结合基础上，建立计量型扫描电子显微镜系统。使得扫描电子显微镜图像中每个像素点都具有精确到纳米尺度的位置坐标数值。在扫描电子显微镜中引入可溯源的计量系统，为开展利用扫描电子显微镜进行长度计量奠定基础。