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MEMS器件的剪切强度测试与失效判据分析

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论文采用GJB548B-2005方法2019.2对MEMS器件的粘接剪切强度和键合剪切强度进行了测试,并探讨了其失效判据对MEMS器件的合理性.测试结果表明MEMS加速度计的粘接剪切强度小于3.5N,GJB548B-2005中方法2019.2的失效判据过严;键合剪切强度为大于36.9N/mm2,GJB548B-2005方法2019.2的失效判据过松.因此,对于MEMS器件的剪切强度测试判定,不能简单沿用微电子等器件的相关测试标准和判据,需要针对MEMS器件的特点制定科学合理的剪切强度失效判据.

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来源
《中国电子学会可靠性分会第二十届可靠性物理年会》|2018年|36-40|共5页
会议地点广州
作者
董显山; 梁彩霞; 黄钦文; 杨少华;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试、调整及设备;
关键词
MEMS器件; 剪切强度; 测试方法; 失效判据;

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