基于大功率高均匀性的垂直阵列式共振腔面射型激光研究

摘要

垂直面射型激光器件(VCSEL)是一种垂直于衬底面射出激光的半导体激光器,其基本结构是一个“三明治”结构,包括上、下两个DBR反射镜和有源区三部分.本篇文章针对提高VCSEL器件的性能,通过芯片设计和制程技术、封装结构和材料优化;同时将通过导热基板材料选型和共晶焊接工艺优化,提高散热效果,解决器件散热问题;在光学方面,将设计新型纳米级光学图形,优化光学透镜结构,同时选择外部围墙材料对杂散光遮蔽,来解决光学均匀性问题.在封装密封方面,将通过优选密封材料和开发新型真空密封技术,解决气密性问题.以达到大功率且高均匀度的垂直阵列式共振腔面射型激光.