不同条件下烧结碳化硅电化学氧化物形貌的对比分析

摘要

烧结碳化硅的超精密加工技术已经成为光学镜面加工领域的研究热点之一.由于烧结碳化硅材料硬度大、构成组分多,目前加工中存在的主要难题是抛光效率低、表面质量差等.电化学氧化辅助抛光是针对碳化硅、蓝宝石等超硬材料开发的一种加工技术.氧化物形貌直接影响着后续加工的效率和获得的表面质量,其主要影响因素是电解液类型和电压模式.本文研究了双氧水+盐酸,磷酸,和超纯水三种电解液,分析了高频方波电压和恒定电压两种电压模式,利用扫描电子显微镜和扫描白光干涉仪对比分析了不同条件下获得的氧化物形貌,为推动电化学氧化辅助抛光技术在烧结碳化硅超精密加工中的应用提供技术支持.