HVE-400注入机高压平台控制监测系统改造

摘要

HVE-400离子注入机是专门用于半导体材料硼磷参杂的离子注入设备.其离子源处于高电位,而离子源控制系统处于地电位,离子源控制信号与离子源各参数的测量信号需要在地电位与高电位之间通过光纤进行传输,以隔离高压.因光纤传输控制与监测系统年久老化不能稳定工作而进行升级改造.改造采用先进的分散集中控制方式代替原有的分散式单点控制方式,将所有的监测和控制功能集中到计算机上进行显示与操作.所有数据的收发采用光纤通信模式替换原来的单点分散模式.并且主控制系统还具有离子质量数自动换算、各部件联锁保护和自动引束等功能.系统具有可靠性高、抗干扰强和通讯速度快等特点,适用于强磁、强电和高压的应用环境.