一种电池供电的便携式飞行时间质谱仪

摘要

本文在综述便携式质谱仪的发展现状基础上,介绍了提出的一种便携式飞行时间质谱仪解决方案.针对便携式质谱仪的实际工作条件,研制了小型化的溅射离子泵和高度集成化的微型复合真空计.采用同轴反射式飞行时间质谱仪探头结构,同时大量采用MEMS电极,使得质谱仪探头体积和重量大大缩小.研制的便携式飞行时间质谱仪工程样机工作性能优良,稳定可靠,有商业化开发价值.