一种新型大功率、单坩埚e型电子枪的设计

摘要

真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备.e型电子枪是真空镀膜机的核心部件,通过蒸发靶材形成膜层.基于市场对e型电子枪高蒸发效率、快蒸发速率的需求,设计出高功率、大容量坩埚的e型电子枪刻不容缓.本文主要研究功率最高15KW、容量100ml的e型电子枪QE15-100/1的机械结构,着重解决了坩埚中心与灯丝中心的理想间距,高功率下如何控制流量来充分冷却、如何获得良好的聚焦特性等.