区熔硅芯炉中五孔感应加热线圈的优化设计

摘要

针对五孔感应加热线圈的区熔硅芯炉所拉制的五根单晶硅棒尺寸各不相同且呈椭圆柱状的问题,对五孔线圈进行优化设计,使其能够拉制出利用率更高的同尺寸圆柱形硅棒.首先建立五孔线圈的电磁场模型和磁感应强度表达式,分析各因素对磁场分布的影响.应用ANSYS分析不同槽路长度时五孔线圈和多晶硅母料表面涡流场和磁场分布.最后通过测量感生电动势,对各孔磁场均匀度进行实验验证.