微纳米机械加工工艺与装备

摘要

目前微流体芯片上典型微沟槽的尺寸为数百微米,然而随着微纳流体控制技术的发展,沟槽尺度向数十微米乃至纳米尺度发展.现有的微加工技术在加工尺度、加工材料、加工结构的精度和复杂性等方面都很难满足微纳流控等领域日益发展的迫切需求.因此,本项目围绕"微纳米机械加工工艺与装备"的学术研究方向,提出了基于微探针轨迹运动的纳米铣削加工方法的研究课题,为微纳米度沟槽的加工提供一种新的方法.