微通道中基于不互溶液-液微流体界面可控传输的定域反应微连接机制研究

摘要

微流控器件与系统中,电互连通常需在流体微通道内制备,互连线尺度和定位精度多在纳米量级,同时互连的实现方式和过程必须考虑微通道中流体的输运、连接与封装,传统微连接原理和方法难以适用.微连接原理与技术的滞后已成为先进微流控系统集成制造的瓶颈.本项目提出利用不互溶两相微流体界面处的传输和反应在微通道中实现低温原位纳米互连的微连接新原理,为解决微流控系统的微连接问题提供了新的方向和相应的理论依据.