进动气囊抛光设备主轴结构设计及关键零部件参数分析

摘要

本文分析气囊抛光设备的结构设计解决的问题和设计要素，并提出了一种高精度气囊抛光主轴的结构方式。构造简单可行，精度易于保证，功能能够实现。利用有限元方法对抛光气囊在不同气压条件下。外加负载后的变形情况进行仿真分析，并对仿真数据进行曲线拟合，得出外载一变形量的数值关系，从而推导出在不同充气压力条件下，外载-变形量以及外载-刚度函数关系。为今后进行相关分析计算提出一种方法和思路。根据设计思路，制造出试验样机，在平面玻璃试验样件上进行相关工艺试验。并利用激光干涉扫描仪进行检测．抛光后的面形PV值及表面粗糙度达到较高精度。