纳米电解加工用碳纳米管工具电极制备关键技术

摘要

性能优良的纳米工具电极是进行纳米电解加工的必备条件,其特征尺寸直接影响纳米结构的最终尺寸。通过对电弧放电法和电阻接触法两种制备纳米电极的新方法的介绍,着重研究了电弧放电法制备碳纳米管工具电极时,不同钨针的有效放电电压控制和电极性能优化这两项关键技术。试验结果发现,钨针的针尖圆弧半径越小,有效放电电压越小,电场分布越集中,越容易将碳纳米管焊接在针尖的顶端,焊接质量越好.在针尖圆弧半径约为100 nm和300 nm的钨针上,放电电压分别为25V和35V时,成功制备出碳纳米管工具电极;经过Au离子溅射处理后,碳纳米管工具电极的电阻降低了约30％,导电性能显著提升。