结构紧凑的扫描倒置显微镜THz成像系统

摘要

本文采用由平面反射镜和椭球面反射镜组成的扫描聚焦装置和倒置显微镜，实现一种结构紧凑的THz波段小阵列扫描成像系统。采用射线追迹与Stratton-Chu矢量衍射积分相结合的方法，计算分析了此系统焦区的矢量衍射场分布。计算结果表明，该系统可以实现THz波段小阵列扫描成像，成像效果良好。