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无间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究

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摘要

超精密机床伺服系统中,间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因.为消除间隙非线性的影响,本文提出了双回路的控制方法,有效地防止了系统中自持振荡的产生.将该方法应用于实际系统中,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差小于±20nm的控制精度.

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来源
《中国仪器仪表学会第三届青年学术会议》|2001年|1-214|共3页
会议地点沈阳
作者
王立松; 董申; 苏宝库; 张飞虎;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类机床的精度;机床自动控制设备;
关键词
超精密机床; 间隙非线性环节; 极限环; 闭环定位; 伺服控制技术;

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