氟硅共掺杂类金刚石摩擦学性能

摘要

本文采用PECVD沉积技术,成功制备了不同氟硅含量的类金刚石膜,测试结果表明,不同氟硅含量的类金刚石膜具有不同的摩擦磨损性能。特别是,当氟硅含量分别为4.94 at.％,2.34 at.％时,膜层具有低摩擦系数,但是磨损率高,当当氟硅含量分别为7.61at.％,6.04 at.％时,膜层具有较高的摩擦系数,但是磨损率低。