超厚类金刚石涂层的可控制备及其性能

摘要

本文利用等离子体化学气相沉积法,制备了掺硅的超厚多层DLC涂层并研究了其在不同环境条件下(包括高温)的摩擦学性能。结果表明,超厚DLC涂层表面光滑,无明显缺陷,与基底之间的附着力和承载能力分别高达40N和3.5GPa.在实验室环境,大气,水以及油润滑条件下,对钢对偶摩擦系数分别为0.22,0.02和0.03,磨损率也都在10-7 mm3/Nm量级。在大气条件,温度在100-300℃时,涂层的平均摩擦系数为0.05.300℃时,涂层的摩擦系数随着测试时间变得不稳定,而当温度为500℃时,其平均摩擦为0.05.磨损率随着温度从100℃增加到500℃,其值从2×10-6 mm3/Nm增加到38×10-6mm3/Nm.