润滑膜厚的干涉光强调制测量技术

摘要

光干涉技术是润滑薄膜厚度测量最有效的方法之一.计算机图像技术及数字色度学的进步,提高了润滑薄膜测量的分辨率及效率.双色光干涉法可保证较大膜厚测量范围及高的测量分辨率的同时,避免繁琐的干涉级次人工计数.传统的双色光干涉测量依赖于静态标定过程,容易引起测量误差.在对润滑薄膜双色光干涉强度特性分析的基础上,提出了一种新的干涉强度调制技术对微纳米润滑薄膜进行测量.通过干涉图像中红、绿分量强度值的线性叠加得到调制信号,根据信号特性分析得到极值位置膜厚,进而由干涉强度测得任一点膜厚.为验证所提出测量方法的正确,建立了测量系统,对静态下球-盘赫兹接触表面间隙进行了测量,与经典结果有很好的一致性.