一种新颖的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂

摘要

本文介绍了丙烯海松酸与二乙烯基醚发生加聚反应得到一种新颖的酯缩醛聚合物,在常用溶剂中具有好的溶解性,数均分子量为5700,分布系数为1.6,玻璃转化温度为89℃,热分解温度在200℃以上.该酯缩醛聚合物在室温下具有高的酸解活性,利用该特点,将其与具有光产酸作用的2,1,4-重氮萘醌磺酸酯一起组成二组分化学增幅型i-线光致抗蚀剂,激光干涉曝光实验及SP 共振曝光实验获得了好的成像表现.