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内嵌流道LTCC基板的流动传热特性研究

摘要

本文针对64元微系统子阵的基本架构,为解决功放芯片的散热问题,将冷却液引入LTCC基板内部,开展相应的流道设计和热设计,加工样件并开展摸底测试.研究结果表明,LTCC内嵌流道结构是解决平面集成大功率器件散热问题的有效方法,使微系统子阵的体积重量大幅减小,为轻小型化设计提供基础.

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