氦质谱检漏仪现场校准技术研究

摘要

为了提高氦质谱检漏仪的检漏质量,本文提出对氦质谱检漏仪进行现场校准,设计并建立一套氦质谱检漏仪校准系统,该校准系统主要由主标准器、系统连接件和全金属角阀组成,利用一系列不同量级漏率的标准漏孔对氦质谱检漏仪进行全量程校准.同时对氦质谱检漏仪的现场校准方法、校准结果的处理、环境温度对薄膜渗氦型漏孔漏率的影响进行了深入的研究,并获得了温度与薄膜渗氦型漏孔漏率的修正方法.实际应用表明,本文所述校准方法实用、可行,氦质谱检漏仪校准系统性能稳定、测量准确度高,解决了氦质谱检漏仪无法溯源的问题,提高了氦质谱检漏仪的检漏质量.