Slot结构聚合物波导微环光学生物传感器研究

摘要

Slot结构在提高集成波导光学传感器灵敏度和降低探测极限值方面具有极大的优势.本文对基于Slot结构的聚合物PSQ-Ls波导微环光学生物传感器进行了研究.分析了850nm波段Slot波导的单波导高度、狭缝宽度及单波导宽度对传感器灵敏度的影响,在满足单模传输的条件下,得到了优化的微环传感器横截面尺寸参数;对Slot结构波导微环的弯曲损耗、自由光谱范围等进行了仿真分析,得到微环传感器的消光比、品质因子等随结构参数变化的关系,确定了优化的微环弯曲半径、耦合效率.与脊形波导微环传感器相比,Slot结构波导微环传感器的灵敏度是其2倍,探测极限值是其一半.