中大口径非球面光学元件快速动力抛光的研究

摘要

针对目前中大口径非球面光学元件加工周期长、精度低的缺点,研制了一种新型中大口径方形光学元件快速动力数控抛光装置及工艺技术,极大地提高了非球面光学元件抛光的效率与精度.利用自行研制的五轴数控抛光机床,实现了对快速动力抛光装置公转、自转一体化的控制.通过优化工艺参数、确定合理抛光路径、抛光模结构,进行抛光工艺实验,得到了良好的实验效果.加工340mm×340mm的非球面光学玻璃,面形精度PV≤(N)5,表面粗糙度Rq≤1.2nm,面形收敛趋于稳定,加工效率得到了有效的提高,为大口径光学系统的快速研发提供了可靠的技术支撑和技术保障.