四极质谱仪在微波真空电子器件中的应用

摘要

微波真空电子器件广泛应用于军用雷达、卫星通信、导航、探测等领域.随着技术的发展,对微波器件不断提出更高的要求,尤其是长寿命、高可靠要求,这对工艺技术研究和过程控制方面提出了极高的要求,其中超高真空的获得技术是实现器件贮存寿命、工作寿命、可靠性的前提.采用四极质谱仪分析技术,可以对排气工艺的合理性以及零件工艺过程洁净链的效果进行检测,同时对封离前器件内部的残余气体种类进行定性分析和判断,从而实现提高器件可靠性的目的.在本文中,以某大功率行波管为试验对象,结合系统真空度的测试,采用四极质谱仪对其阴极的预处理过程(二极管)以及整管排气过程中的气体进行实时监控,对其放气特性进行了研究与分析.