退火对硅--氧化硅薄膜晶体结构的影响

摘要

近几年来，ｎｍＳｉ－ＳｉＯ〈，Ｘ〉（Ｘ＜２）即富纳米硅－－二氧化硅薄膜具有较高的发光效率和稳定的发光性能，使制作发光硅器件成为可能。