半导体工业用石英玻璃炉管

摘要

半导体工业用石英炉管的要求主要集中在高温环境下的高纯度、机械稳定性和较长的使用寿命。增加壁厚、外表进行Ａｌ〈，２〉Ｏ〈，３〉高温涂层和降低ＯＨ〈’－〉含量，能有效的改善石英管的耐高温性能。另外，正确的清洗方法、适当的支撑和旋转操作也是获得良好的使用性能的途径。