ECR等离子体辅助反应脉冲激光沉积化合物薄膜

摘要

将脉冲激光沉积与ＥＣＲ微波放电等离子体结合，进行了制备化合物薄膜的初步尝试，合成沉积了氮化硅、氧化硅、氮化铝薄膜。采用俄歇电子能谱等方法进行了分析表征，结果表明这种方法可以用于多种化合物薄膜的制备。另外还就成膜的过程和机制进行了一些探讨。