不同致密度a-C:D薄膜材料的氧化及氢氘同位素交换

摘要

利用弹性反冲探测（ＥＲＤ）、质子弹性散射（ＰＥＳ）及红外谱仪，研究高密度和低密度两种ａ－Ｃ：Ｄ薄膜样品，在室温至８００Ｋ的温度范围内的稳定度。发现了两种薄膜材料在大气中氧化及氢氘同位素交换行为的区别，并讨论了反应机制。