一种对称电容式微差压伺服传感器

摘要

该文报道一种测量差压值在1Pa-100Pa左右的高灵敏度差压传感器。在有限元分析的方法对结构进行形变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论计算。在此结果上结合工艺条件，最终确定结构参数。实际工艺上用浓硼扩散自停止腐蚀方法，制造高灵敏度的膜岛结构。